適用于光學(xué)、半導(dǎo)體及FPD應(yīng)用—島津UV-VIS-NIR分光光度計(jì)
是一款頂級(jí)的高靈敏度分光光度計(jì)，可進(jìn)行深紫外區(qū)檢測(cè)，具備大樣品室，可滿足光學(xué)、半導(dǎo)體及FPD在以下方面的檢測(cè)需求。
FPD：
材料評(píng)估中NIR和大樣品的高靈敏度測(cè)定。
半導(dǎo)體：
短波長激光和12英寸晶片整體表面的深紫外區(qū)測(cè)定。
光通信：?
減反射膜NIR高靈敏度測(cè)定。
光學(xué)：
從DUV到NIR再到大樣品的高靈敏度分析。
SolidSpec-3700/3700DUV特點(diǎn)
高靈敏度
SolidSpec-3700和3700DUV是第一臺(tái)使用3個(gè)檢測(cè)器的分光光度計(jì)：光電倍增管（PMT）探測(cè)器檢測(cè)紫外區(qū)和可見光區(qū)，近紅外區(qū)使用InGaAs 和 PbS檢測(cè)器。InGaAs 和 PbS檢測(cè)器的使用使得近紅外區(qū)域的靈敏度顯著增強(qiáng)。
深紫外區(qū)檢測(cè)
SolidSpec-3700DUV具有檢測(cè)深紫外區(qū)的能力，可測(cè)定至165nm或175nm的積分球。此檢測(cè)是用氮?dú)獯祾吖馐液蜆悠肥疫M(jìn)行的。注： 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光單元DDU-DUV測(cè)定）的最短波長。
大樣品室
大樣品室（900W x 700D x 350H mm) 可在不損傷大樣品的前提下進(jìn)行檢測(cè)。其垂直光路可直接測(cè)量大樣品同時(shí)保持它們的水平狀態(tài)。使用自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)（選配）測(cè)定樣品的尺寸是12英寸或310×310mm。
Optional Accessories選配組件
Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光單元DDU/DDU-DUV對(duì)于液、固樣品透過率測(cè)定
自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)（自動(dòng)測(cè)量）
大型鏡面反射附件
氮?dú)饬髁垦b置
絕對(duì)鏡面反射附件(5°12°30°45°)
積分球刪除樣品盤
一體軟件
SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe軟件包括光譜模塊，光度模塊，動(dòng)力學(xué)及報(bào)告模塊等功能。多重的安全性及可追蹤性以確保刪除數(shù)據(jù)的可靠性。
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光學(xué)組件需要對(duì)透光率及反射率進(jìn)行高精度測(cè)定。SolidSpec-3700/37000DUV擁有三個(gè)檢測(cè)器，覆蓋的范圍從紫外區(qū)到近紅外區(qū)。通過使用InGaAs和冷卻型PbS檢測(cè)器提高近紅外區(qū)的靈敏度。從而得到從紫外區(qū)到近紅外區(qū)高精度和高靈敏度光譜。
傳統(tǒng)的分光光度計(jì)使用一個(gè)光電倍增管對(duì)紫外和可見區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)。但所有檢測(cè)器在檢測(cè)器轉(zhuǎn)換范圍內(nèi)靈敏度較低，因此在此范圍檢測(cè)時(shí)無法實(shí)現(xiàn)高靈敏度測(cè)定。 SolidSpec-3700/3700DUV通過使用InGaAs檢測(cè)器可在轉(zhuǎn)換領(lǐng)域內(nèi)進(jìn)行高靈敏度檢測(cè)。
高靈敏度檢測(cè)
InGaAs檢測(cè)器和PbS 檢測(cè)器測(cè)定銳截止濾光片透過率的譜圖如下圖所示：SolidSpec-3700/3700DUV從850至1600nm范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了低噪音水平，與傳統(tǒng)的分光光度計(jì)相比，1300至1600nm范圍內(nèi)，噪聲減少了四分之一。
SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm，在透過率小于1%的前提下，噪聲水平小于0.1%。此波長范圍的高靈敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成為檢測(cè)低反射樣品的強(qiáng)有力工具，如在光傳輸中使用的防反射涂層及薄膜。
1500nm處的噪聲為世界最優(yōu)水平，小于0.00005Abs（狹縫寬度8nm，RMS），刪除使用直接受光單元DDU/DDU-DUV.小于0.00003Abs（狹縫寬度2nm，RMS）
隨著以ArF激發(fā)激光為代表的使用深紫外激光的高精度激光儀器的發(fā)展，提高了對(duì)光學(xué)材料深紫外區(qū)透過率和反射率的測(cè)定要求。
SolidSpec-3700DUV使用積分球時(shí)可在175nm-2600nm的范圍測(cè)定，而使用選配件直接受光單元DDU-DUV時(shí)可在165nm-3300nm的范圍測(cè)定。
使用此附件，可實(shí)現(xiàn)從深紫外區(qū)到近紅外區(qū)寬范圍的測(cè)定。
空氣中的氧分子會(huì)吸收190nm以下的深紫外光，需要使用氮?dú)獯祾吖馐液蜆悠肥乙猿パ醴肿拥母蓴_。SolidSpec-3700DUV各單元都設(shè)有吹掃入口，可進(jìn)行充分的氮?dú)獯祾?，以?shí)現(xiàn)深紫外區(qū)的高靈敏度和低雜散光。
為進(jìn)行深紫外區(qū)的測(cè)定，檢測(cè)器的窗口和積分球內(nèi)壁均使用不吸收深紫外光的材料，SolidSpec-3700DUV的PMT檢測(cè)器使用特制熔融石英作為窗口材料，積分球內(nèi)壁使用深紫外區(qū)具有高反射性能的特殊樹脂。
深紫外區(qū)高靈敏度和低雜散光測(cè)定
深紫外區(qū)的高精度測(cè)定要求充足光通量和低雜散光。
右圖是使用直接受光單元DDU-DUV（選配）測(cè)定石英板的透過率光譜。
在紫外區(qū)域可得到超低噪聲的光譜。
SolidSpec-3700/3700DUV配有大樣品室，可使大樣品進(jìn)行無損檢測(cè)。其內(nèi)部尺寸為900W x 700D x 350H。
可測(cè)定的最大樣品尺寸700W x 560D x 40H mm。樣品尺寸為12英寸或310 x 310 mm的樣品可用自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)（選配）
使用X-Y樣品臺(tái)的大樣品室
使用X-Y樣品臺(tái)測(cè)定12英寸硅片
自動(dòng)檢測(cè)
為SolidSpec-3700/3700DUV研發(fā)的自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)可對(duì)提前指定點(diǎn)進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)，同時(shí)又可進(jìn)行氮?dú)獯祾摺?/p>
12英寸硅片上SiO2薄膜的反射光譜
12英寸硅片上薄膜的厚度測(cè)定